碳化硅陶瓷基片
碳化硅陶瓷基片是高纯碳化硅陶瓷块经多线切割、研磨、抛光等工序加工而成,基片厚度可调,可满足散热、承载等用途。
本公司生产的碳化硅陶瓷基片具有热导率高、强度高、硬度高等特点,其厚度最低可至0.25mm。
基片照片:

材料性能特点:
产品性能表:
| 性能 | 高纯碳化硅陶瓷 |
| 厚度 | 0.32 mm |
| 密度 | 3.20 g/cm3 |
| 热导率 | 230 W/(m·K) |
| 热膨胀系数 | 5.11 ×10-6 /℃ |
| 抗弯强度 | 450 MPa |
| 硬度 | 28 GPa |
扫描电镜:

应用领域:
- 半导体与电子工业:用于晶圆加工设备中的研磨盘、夹具等部件,可承受高温并抵御化学腐蚀,保障加工精度。
- 散热基板:用于新能源汽车、光伏逆变器的IGBT模块SiC功率器件的散热基板。
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