碳化硅陶瓷基片

       碳化硅陶瓷基片是高纯碳化硅陶瓷块经多线切割、研磨、抛光等工序加工而成,基片厚度可调,可满足散热、承载等用途。

       本公司生产的碳化硅陶瓷基片具有热导率高、强度高、硬度高等特点,其厚度最低可至0.25mm。

基片照片:

材料性能特点:


产品性能表:

性能高纯碳化硅陶瓷
厚度0.32 mm
密度3.20 g/cm3
热导率230 W/(m·K)
热膨胀系数5.11 ×10-6 /℃
抗弯强度450 MPa
硬度28 GPa

扫描电镜:

 

应用领域:


  • 半导体与电子工业:用于晶圆加工设备中的研磨盘、夹具等部件,可承受高温并抵御化学腐蚀,保障加工精度。
  • 散热基板:用于新能源汽车、光伏逆变器的IGBT模块SiC功率器件的散热基板。
 
 

Copyright © 2022 浙ICP备2023012959号