高纯度碳化硅陶瓷是一种专门为半导体设备配套的高性能精密陶瓷材料，其最显著的特点是极低的金属杂质，避免其在应用过程中对承载产品的污染。

       本公司主要生产6H晶型、高纯度、高致密碳化硅陶瓷产品，具有纯度高、强度优异、致密度高等优点。

材料性能特点：

产品性能表：

性能	高纯碳化硅陶瓷
强度/MPa	350~450
断裂韧性/Mpa·m1/2	4.0~5.0
密度	3.10-3.15
纯度	≥99.99%

扫描电镜：

XRD：

GDMS（纯度测试）：

应用领域：

• 半导体行业：晶舟、气浮运动台
• 航空航天：火箭喷嘴、热防护系统
• 化工：耐腐蚀反应器、管道

晶舟

气浮运动台